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無(wú)塵室工程的構造與標準
日期：2024-06-29 14:15
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摘要：
無(wú)塵室工程為無(wú)塵室或清凈室。它是污染控制的基礎。沒(méi)有無(wú)塵室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-2里面，無(wú)塵室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。無(wú)塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、**等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。
世界各國均有自定規格，但普遍依據美國聯(lián)邦政府頒布的標準【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可將無(wú)塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無(wú)塵室的等級只用塵粒數目來(lái)敘述，則可假設塵粒的尺寸為0.5μm，例如，1級、10級、100級無(wú)塵室*大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5μm，無(wú)塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來(lái)表示。例如：10級在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下，密度不大于75顆/立方英尺)，1級在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。
世界各國均有自定規格，但普遍依據美國聯(lián)邦政府頒布的標準【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可將無(wú)塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無(wú)塵室的等級只用塵粒數目來(lái)敘述，則可假設塵粒的尺寸為0.5μm，例如，1級、10級、100級無(wú)塵室*大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5μm，無(wú)塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來(lái)表示。例如：10級在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下，密度不大于75顆/立方英尺)，1級在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下，密度不大于35顆/立方英尺)。
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